Физика- Астрономия
- Математика
- Химия
- Биология
- Науки о Земле
- Механика
- "Nanoscience"
- Медицинские науки
- Сельскохозяйственные науки
- Computer science
- Технические науки
Дорожкин Сергей Иванович | |||||||||
|
Институт физики твердого тела РАН | |||||||||
|
Черноголовка (Russian Federation)
| |||||||||
|
dorozh(at)issp.ac.ru | |||||||||
|
Ключевые слова
Электронный транспорт квантующие магнитные поля микроволновое излучение создание планарных объектов и их структурирование при помощи литографических методов физические методы осаждения слоев нанометровых толщин оптическая литография субмикронного разрешения электронная литография |
Специализация по классификатору
|
||||||||
